⊙ 300mm 웨이퍼 이송 서비스.
⊙ 사용자 요구에 따른 맞춤 구성. ⊙ 인클로저 압력의 폐쇄 루프 제어 ⊙ 현장 유지관리 서비스 가능 ⊙ 세미 스탠다드 준수. ⊙ 간편한 레벨링 및 도킹
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