Cluster Type

Twin Type

FEATURES
  ⊙ 높은 처리량: 빠른 스왑 시간
  ⊙고객 맞춤형 시스템 : 스택 로드락, 배치 로드락, 히터 유닛, 냉각 유닛
  ⊙ AWC 기능
  ⊙ 신뢰성 및 손쉬운 유지보수
SPECIFICATION

TM & LL FEATURES
  ⊙ 로드락 : 스택 로드락
  ⊙ 로우 스택 : 히터 유닛
  ⊙ 하이 및 로우 스택, 냉각 장치
  ⊙ 진공, 가스관 및 I/O 박스
  ⊙ 손쉬운 유지보수 & 청정 시스템