Cluster Type

Twin Type

FEATURES
  ⊙ 7축 진공 로봇을 사용하여 높은 처리량 및 신뢰성 제공
  ⊙ 쿼드 암(4개의 웨이퍼 처리)
  ⊙ 개별 제어식 4개 암
  ⊙ AWC 기능(자동 웨이퍼 센터링)
  ⊙ UPEH : 250 웨이퍼/hr
SPECIFICATION